表6－45 投影物镜典型结构参数
注：β为垂轴放大率；f′为物镜像方焦距；Umax为轴上物点入射光束的最大锥顶角(2Umax)的一半；2y为物方线视场；l为自物镜第一面顶点到轴上物点的距离；l′为自物镜最后一面顶点到轴上像点的距离；r为曲率半径；d为顶点间距；D0为零件有效孔径。
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