孟广耀编著。
科学出版社1984年4月版。17万字。详细叙述化学气相淀积的基本原理和操作工艺，讨论淀积过程热力学、动力学、表面过程机理以及生长层质量与淀积参数的关系等问题。介绍了化学气相淀积法在新材料、新技术领域中的应用。
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